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场发射扫描电子显微镜

Updated:2015-09-17

 

一、用途:
  日立公司(Hitachi Co. Ltd)S-4800场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)。是一台高性能扫描电镜,带电子束减速功能,最高放大倍率可达80万倍,特别适合用于表征材料在纳米尺度上的表观形貌。同时该设备还配备了丰富的附件,包括Horiba 250能谱,背散射电子检测器,可用于表征材料的元素组成、分布等。
 

二、主要技术指标:
1.二次电子成像分辨率:1.0nm(15kv); 2.0nm(1kv)
2.YAG背散射电子成像分辨率:3.0nm(15kv)
3.电子枪:冷场发射电子枪
4.加速电压:0.5~30 kv(0.1 kv/步可变)
5.放大倍数:×30~×800,000
6.物镜光栏:4孔光栏,真空外选择和调整(内置加热器)
7.检测器:二次电子检测器(高位/低位/高位+低位);用电子束    监视器进行噪音补偿;YAG型背散射电子(BSE)检测器;EDX检测器
8.样品台移动:X=0~50 mm ;Y=0~50 mm ;Z=1.5~30 mm;
T=-5~+70°;R=360°手动
9. 样品尺寸:6″——直径最大100 mm

Attachments:  

Tel: 86-27-87218832

Fax: 86-27-87879466

E-mail: guanjg@whut.edu.cn