一、用途：
  日立公司(Hitachi Co. Ltd)S-4800场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)。是一台高性能扫描电镜，带电子束减速功能，最高放大倍率可达80万倍，特别适合用于表征材料在纳米尺度上的表观形貌。同时该设备还配备了丰富的附件，包括Horiba 250能谱，背散射电子检测器，可用于表征材料的元素组成、分布等。
 

二、主要技术指标：
1.二次电子成像分辨率：1.0nm(15kv); 2.0nm(1kv)
2.YAG背散射电子成像分辨率：3.0nm(15kv)
3.电子枪：冷场发射电子枪
4.加速电压：0.5～30 kv（0.1 kv/步可变）
5.放大倍数：×30～×800，000
6.物镜光栏：4孔光栏，真空外选择和调整（内置加热器）
7.检测器：二次电子检测器（高位/低位/高位＋低位）；用电子束    监视器进行噪音补偿；YAG型背散射电子（BSE）检测器；EDX检测器
8.样品台移动：X=0～50 mm ；Y=0～50 mm ；Z=1.5～30 mm；
T=-5～+70°；R=360°手动
9. 样品尺寸：6″——直径最大100 mm